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產品詳細頁
實時膜厚檢測儀
- 產品型號：DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
- 更新時間：2024-03-19
- 產品介紹：實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復雜的多層薄膜。
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產品介紹
概要
實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復雜的多層薄膜。
特征
- 監(jiān)測透明薄膜的厚度和高度，如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
- 適用于等離子體頻譜分析。
- 生產線使用內置軟件。
- 終點檢測法的靈活應用。
- *的加工特點。